Business Field
Al2O3 (Alumina), Y2O3 (Yittria), AlN (Aluminium nitride) 등과 같은 다양한 세라믹 소재들을 고객에게 공급하고 있습니다.
이러한 세라믹 소재들은 반도체 장비용 부품 제작 및 코팅, 디스플레이 장비용 부품 제작 및 코팅, 고체산화물 연료전지 (SOFC) 시스템용 Cell 제작 등에 사용되고 있습니다.
우수한 열전도성
탁월한 절연 특성
높은 내부식성
우수한 경도
높은 내마모성
높은 비저항 특성
탁월한 내열성
높은 유전 특성
화학적 안전성
우수한 내플라즈마성
높은 투광성
뛰어난 가공 효율
| 코팅 방법 | 파우더 종류 |
|---|---|
|
APS (Atmospheric Plasma Spray) 대기압 플라즈마 스프레이 |
- 고밀도 과립 - 과립 |
|
AD (Aerosol Depostion) 에어로졸 증착 |
- 파우더 - 과립 |
|
SPS (Suspension Plasma Spray) 서스펜션 플라즈마 스프레이 |
- 슬러리 |
| 제품 | 재료 | 재료 특성 |
|---|---|---|
|
Heater 과립분말 |
AIN |
- 높은 고온 체적저항 (≥109 Ω.cm) - 뛰어난 열전도 특성 |
|
ESC 과립분말 |
Al2O3 |
- 우수한 유전 특성 (≥10) 유전상수 - 높은 체적저항 |
|
Parts 과립분말 |
Y2O3 |
- 우수한 분말 유동성 - 최적화된 과립 분체 특성 - 뛰어난 내플라즈마 특성 |
